無(wú)塵車間的清潔通常要搞五道，只有經(jīng)過(guò)這五道的清潔才能達(dá)到較好的清潔效果。

道：將無(wú)塵車間內(nèi)的垃圾、無(wú)用物品等全部清理出無(wú)塵車間。然后進(jìn)行清潔，清潔首先對(duì)天花板進(jìn)行開(kāi)始，通常是用濕抹布對(duì)天花板進(jìn)行清潔，然后再用干抹布擦干清潔。天花板清潔完畢后再進(jìn)行隔墻的清潔，條件允許可以采用水沖洗的辦法進(jìn)行清洗，條件不允許（有開(kāi)關(guān)、插座的地方）可以采用濕抹布進(jìn)行清潔，再用干抹布擦干。后對(duì)地面進(jìn)行清潔，地面通常用水進(jìn)行沖洗，沖洗由里至外的路線進(jìn)行，沖洗完畢應(yīng)清理地面的積水。在整個(gè)清洗過(guò)程中，所有清潔工具及人員必須干凈，所有的水源必須經(jīng)常更換，以防止二次污染。整個(gè)過(guò)程中防止存在衛(wèi)生死角不作清潔（例如回風(fēng)柱、生產(chǎn)設(shè)備、衣柜等地方）。對(duì)不易清潔的地方可用洗潔精等進(jìn)行輔助清潔。

第二道：重復(fù)次過(guò)程，不過(guò)應(yīng)更加注重仔細(xì)。確保無(wú)塵車間內(nèi)沒(méi)有可見(jiàn)灰塵及污跡。

第三道：所有清潔人員須穿著潔凈服并嚴(yán)格按照無(wú)塵車間的使用辦法進(jìn)入無(wú)塵車間進(jìn)行清潔，所有抹布改為無(wú)塵抹布進(jìn)行清潔。清潔完畢，確保無(wú)塵車間一塵不染。

第四道：重復(fù)第三次的辦法

第五道：所有清潔人員須穿著潔凈服并嚴(yán)格按照無(wú)塵車間的使用辦法進(jìn)入無(wú)塵車間進(jìn)行清潔，所有抹布改為無(wú)塵抹布進(jìn)行清潔。整個(gè)無(wú)塵車間及無(wú)塵車間內(nèi)的設(shè)備等均用75%的酒精進(jìn)行。

后，所有人員退出無(wú)塵車間，并鎖好門并開(kāi)啟空調(diào)機(jī)（可不開(kāi)冷氣只開(kāi)通風(fēng)）及開(kāi)啟紫外線燈?？照{(diào)運(yùn)行四十八小時(shí)后經(jīng)檢測(cè)合格后可以進(jìn)行生產(chǎn)。