氧化銦是一種寬禁帶半導(dǎo)體,具有良好的光學(xué)透明性,而氧化錫的引入則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。這種成分結(jié)構(gòu)使得ITO材料在保證高透光率的同時(shí)也具有低電阻率,兼具光學(xué)和電學(xué)性能。ITO靶材的這一獨(dú)特特性使其成為透明導(dǎo)電膜的主流材料,尤其適用于要求高透明度的光電設(shè)備和顯示技術(shù)。
火法-濕法聯(lián)合工藝
結(jié)合兩種工藝優(yōu)勢(shì)提升效率:
廢靶材先經(jīng)回轉(zhuǎn)窯1200℃揮發(fā)富集,銦含量從0.1%提升至0.5%。
富銦煙塵通過(guò)酸浸-萃取-電解流程精煉,整體回收率從傳統(tǒng)工藝的54%提升至85%。
該方案投資成本較單一濕法降低30%,但需配套煙氣凈化系統(tǒng)防止銦揮發(fā)損失。
總結(jié):隨著光伏和顯示面板產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張,2025年中國(guó)ITO靶材回收市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)突破50億元。物理法因成本優(yōu)勢(shì)(處理成本2000元/噸)在中小型企業(yè)普及,而大型企業(yè)更傾向聯(lián)合工藝(綜合回收率>90%)。
未來(lái)發(fā)展方向?qū)⒕劢梗憾塘鞒淘O(shè)計(jì)(工序減少40%)、智能化控制系統(tǒng)(能耗降低25%)、以及銦錫同步回收技術(shù)的突破。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達(dá)90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽(yáng)能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,電導(dǎo)率高,確保了設(shè)備的運(yùn)行。
目前,市場(chǎng)上已有不少專業(yè)的ITO靶材回收企業(yè),他們通過(guò)先進(jìn)的回收技術(shù)和設(shè)備,將廢舊ITO靶材中的銦、錫等元素進(jìn)行有效分離和提純,再加工成新的靶材產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)了資源的循環(huán)利用。