低壓吸附真空解吸，即在穿透大氣壓（風壓）的條件下，利用VPSA專用分子篩與干燥劑形成的混合床層選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質，令氧在床層末端聚積并收集，在抽真空的條件下對吸附飽和狀態(tài)的分子篩床層進行解吸，從而循環(huán)制得純度較高的氧氣（90～95%）。VPSA能耗較低，制氧設備越大其能耗越低。