硅烷熱分解法與西門子法相比，其優(yōu)點主要在于：硅烷較易提純，含硅量較高（87.5%，分解速度快，分解率高達99%），分解溫度較低，生成的多晶硅的能耗僅為40 kW ·h/kg，且產(chǎn)品純度高。但是缺點也突出：硅烷不但制造成本較高，而且易燃、易爆、性差，國外曾發(fā)生過硅烷工廠強烈爆炸的事故。因此，工業(yè)生產(chǎn)中，硅烷熱分解法的應用不及西門子法。改良西門子法目前雖擁有的市場份額，但因其技術(shù)的固有缺點產(chǎn)率低，能耗高，成本高，資金投入大，資金回收慢等，經(jīng)營風險也。只有通過引人等離子體增強、流化床等先進技術(shù)，加強技術(shù)創(chuàng)新，才有可能提高市場競爭能力。硅烷法的優(yōu)勢有利于為芯片產(chǎn)業(yè)服務，其生產(chǎn)性已逐步得到改進，其生產(chǎn)規(guī)?？赡軙杆贁U大，甚至取代改良西門子法。雖然改良西門子法應用廣泛，但是硅烷法很有發(fā)展前途。與西門子方法相似，為了降低生產(chǎn)成本，流化床技術(shù)也被引入硅烷的熱分解過程，流化床分解爐可大大提高SiH4的分解速率和Si的沉積速率。但是所得產(chǎn)品的純度不及固定床分解爐技術(shù)，但完全可以滿足太陽能級硅質(zhì)量要求，另外硅烷的性問題依然存在。