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EUV光刻機日耗電3萬度 電費壓力大：臺積電回應電價上漲 太平洋電腦網     2022-06-28 12:49    

半導體制造雖然是高科技行業(yè)，但同時也是高能耗行業(yè)，需要使用大量淡水及電力，其中電費已經是晶圓廠的重要成本之一，EUV光刻機每日耗電3萬度，電價高低都是晶圓廠非常關注的。

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